半导体材料无尘车间去湿以保障产品质量度
发布时间:2025-05-03 来源:维高净化 浏览次数:40
半导体材料无尘车间也需要除湿:无尘车间又称净化车间,广泛应用于电子元件、半导体材料、生物医药、生物技术等生产加工制造行业。由于在净化车间进行生产制造,证明产品的成功率和精度不易造成环境污染。清洁车间蒸汽空气湿度规律性高,生产加工行业蒸汽空气湿度规律性不同,半导体器件清洁车间蒸汽空气湿度规律性为45%60%rh,尺寸公差误差为1%,超过或低于1%。
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空气湿度高于生产加工规定,对无尘车间会造成怎样的伤害呢?起初,病原菌会不断地发育,这样就会降低无尘车间的洁净室等级:我们知道,病原菌和其它外来物种(黄曲霉、病毒感染、病菌、满虫)可以在空气相对湿度超过60%的地理环境中活动繁殖。有些肠道益生菌在空气相对湿度超过30%时可提高。当空气湿度在40%~60%之间时,病原菌的危害和上呼吸道感染至少可以减少。
其次,高空气相对湿度会导致生产线设备腐蚀,缩短使用寿命。虽然许多工业设备的外壳是由非金属材料制成的,如塑料或不锈钢板芯,但许多部件仍然是由铜或不锈钢板等金属高分子材料制成的。在高低温地形下,零件容易生锈,从而缩短工业设备的使用寿命。
再一次控制空气相对湿度,可以为员工提供舒适的办公环境,空气湿度在40%~60%范围内。过高的空气相对湿度让人感到烦闷,而过高的空气相对湿度低于30%则会让人感到干燥、皮肤开裂、呼吸道不适和情绪缓慢。
最后,产品会潮湿,导致产品质量下降。半导体采用其单侧导电能力。一旦潮湿,就会变成电导体,容易出现短路故障,损害产品特性。而且空气相对湿度的增加会继续损害半导体辅助材料的其他特性。以半导体光刻工艺为例。实验证明,光刻工艺的粘度会随着空气相对湿度的增加而迅速降低。

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