|
地区
|
计重浓度
|
计数浓度(≥0.5μm)
|
|
|
mg/m3
|
个/L
|
个/ m3
|
|
|
市区
|
0.1~0.35
|
5x104~23.3x104
|
15x105~70x105
|
|
郊区
|
0.05~0.3
|
2x104~10x104
|
10x105~30x105
|
|
农村
|
0.01~0.1
|
1x104~3.3x105
|
3x105~10x105
|
|
序号
|
人员动作
|
普通工作服
|
洁净工作服
|
|
|
分套型
|
全套型
|
|||
|
1
|
立
|
339000
|
113000
|
5580
|
|
2
|
坐
|
302000
|
112000
|
7420
|
|
3
|
臂上下运动
|
2980000
|
298000
|
18600
|
|
4
|
上体前屈
|
2240000
|
538000
|
24200
|
|
5
|
臂自由运动
|
2240000
|
298000
|
20600
|
|
6
|
头部运动
|
631000
|
151000
|
11000
|
|
7
|
上体转动
|
850000
|
266000
|
14900
|
|
8
|
屈身
|
3120000
|
605000
|
37400
|
|
9
|
踏步
|
2800000
|
861000
|
44600
|
|
10
|
步行
|
2920000
|
1010000
|
56000
|
|
序号
|
工作服型式及材料
|
动作
|
|
|
坐(四肢、头部自由活动)
|
走动
|
||
|
1
|
全套型粗织尼龙工作服
|
38.3x104
|
322x104
|
|
2
|
分套型密织尼龙工作服
|
18.1x104
|
128x104
|
|
3
|
分套型密织尼龙工作服
内衬的确良工作服
|
7.2x104
|
73.8x104
|
|
4
|
棉的确良工作服
|
20.5x104
|
108x104
|
|
5
|
电力纺工作服
|
101x104
|
677x104
|
|
6
|
普通服装
|
210x104
|
300x104
|
|
序号
|
建筑表面发尘量
|
资料来源
|
|
1
|
(0.8~1)*104
|
电子部十一院《设计通讯》1975年
|
|
2
|
(0.3~0.9)*104
|
电子部十一院《苏州半导体器件一厂洁净室测定》1978年
|
|
3
|
0.77*104
|
电子部十一院《北京西城半导体材料厂水平层流洁净室测定报告》1975
|
|
4
|
4.5*104
|
电子部十一院《出国考察报告》(74)0131974年
|
|
项目
粒径
|
洁净室建筑表面发尘量
{粒/(min?┫地面)}
|
人员发尘量{粒/(人?min)}
|
|
|
静止(基本静止)
|
人员正常操作
|
||
|
≥0.5μm
|
1.25*104
|
10*104
|
50*104
|
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